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半導(dǎo)體行業(yè)超高純(特種)氣體稀釋系統(tǒng)

更新時間:2024-12-02
產(chǎn)品型號:APK-6100E
所屬分類:實驗室前處理設(shè)備
描述:APK6100E智能多通道稀釋系統(tǒng)-氣體/液體稀釋配標(biāo)儀可配制五種標(biāo)氣的混合氣(可定制),稀釋比可達到1:10000,二級稀釋,高精度,帶有加濕功能,可用于傳感器生產(chǎn)商,半導(dǎo)體生產(chǎn)商的產(chǎn)品測試及科研院所的科學(xué)研究,可根據(jù)用戶要求定制。
詳情介紹
品牌青島環(huán)控價格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,綜合

APK6100E智能多通道稀釋系統(tǒng)可配制五種標(biāo)氣的混合氣(可定制),稀釋比可達到1:10000,二級稀釋,高精度,帶有加濕功能,可用于傳感器生產(chǎn)商,半導(dǎo)體生產(chǎn)商的產(chǎn)品測試及科研院所的科學(xué)研究,可根據(jù)用戶要求定制。

儀器特點

1、可用于稀釋苯系物BTEX、PAMS、硫化物、TO-15、HCHO、SO2、NO、NO2以及其他

2、自動稀釋儀帶有加濕功能,可控制稀釋后氣體濕度

3、高精度質(zhì)量流量計(MFC),配制氣體濃度精準(zhǔn)

4、可選配液體標(biāo)樣稀釋模塊

5、全自動運行,直接讀取濃度,ppm,ppb或ppt

6、可針對不同用戶的稀釋要求定制產(chǎn)品

儀器參數(shù)

氣體,液體稀釋系統(tǒng)-可選氣體或液體稀釋通道

氣體稀釋:(二級稀釋)

液體標(biāo)樣稀釋:(10nL/min~10mL/min)

1級和2級稀釋(先將液體標(biāo)樣氣化)

儀器應(yīng)用

·傳感器生產(chǎn)商

·半導(dǎo)體生產(chǎn)商

·科研院所






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